Das Handling großformatiger und carrier-gebundener Substrate, wie sie z.B. im Hochvakuum eingesetzt werden, war bisher durch kleine Reichweiten und durch große Aufstellflächen wenig effizient. Die Ingenieure der Dresdner Adenso GmbH stellen jetzt einen vollkommen neuen Handling-Roboter vor. Durch seine platzsparende Kinematik übertrifft er die bisherigen Reichweiten der Konkurrenzprodukte um das Zwei- bis Dreifache ohne dabei an Tragfähigkeit einzubüßen. Im Gegensatz zu den etablierten Schwenkarm-Systemen spart der neue Roboter an der benötigten Aufstellfläche ein, wodurch die Abmessungen der Prozesskammern vergrößert oder sogar mehrere Prozesskammern hintereinander angeordnet werden können.
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Der Roboter wird in den Ausführungen WHR LARGE, WHR EXTRA LARGE und WHR ULTRA LARGE produziert und kann flexibel im Reinraum, im Schleusenbereich von Hochvakuum-Clusteranlagen oder in Glovebox-Systemen mit Schutzgasumgebung eingesetzt werden. Der WHR Wafer Handling Robot basiert auf einer platzsparenden Bauweise, welche für hohe Tragfähigkeiten besonders robust ausgelegt ist. In Clusteranlagen können große Gateventile durch deutlich kleinere Bauformen ersetzt werden, was die Kosteneffizienz des gesamten Systems deutlich verbessert.
"Die Wafer-Substrate werden immer größer und somit schwieriger zu handhaben. Dadurch werden Tragfähigkeit, Reichweite und Effizienz des eingesetzten Handlingsystems immer wichtiger", erklärt Uwe Beier, Geschäftsführer und Leiter des Programmbereichs Clustersysteme der Adenso GmbH. "Die Verwendung von kleineren Schleusenventilen bei gleicher Funktionalität bedeutet damit direkt eine deutliche Kosteneinsparung - und das geringere Volumen eine gesteigerte Effizienz", so Beier weiter.
Im Rahmen der SEMICON EUROPA 2015, welche vom 06. - 08. Oktober in Dresden stattfindet, präsentieren Ingenieure der Adenso GmbH ihre Roboter live auf dem Gemeinschaftsstand des Silicon Saxony (Booth 2046) sowie in einem Fachvortrag in der TechArena.
Außerdem wird es eine Live-Vorführung des WHR EXTRA LARGE mit dem autonom agierenden Roboter SCOUT 300triax der Dresdner Firma ORTNER geben. Dieser wurde für den Einsatz in Halbleiterfabriken entwickelt und kann Transportboxen für 300mm Wafer (FOUP) automatisch von einem Tool aufnehmen, transportieren und an der benötigten Stelle korrekt platzieren.
Über Adenso
Adenso entwickelt seit1998 Konzepte für das Handling von verschiedensten Substraten in Hochvakuum- und Schutzgasumgebungen – für heute, morgen und übermorgen. Von Prototyp- über Forschungs- bis hin zu hochproduktiven Industrieanlagen beschäftigen die Entwicklungsingenieure dabei diese wesentliche Fragen: Welche alternativen Möglichkeiten des Substrathandlings im Zusammenspiel mit der Prozesssierung gibt es, wie setzt man diese am sinnvollsten um und wie kann man sie zukünftig für industrielle Anwendungen nutzen?
Weiterführende Links
www.adenso.de
www.waferhandling.solutions Grafik: Adenso
Der Roboter wird in den Ausführungen WHR LARGE, WHR EXTRA LARGE und WHR ULTRA LARGE produziert und kann flexibel im Reinraum, im Schleusenbereich von Hochvakuum-Clusteranlagen oder in Glovebox-Systemen mit Schutzgasumgebung eingesetzt werden. Der WHR Wafer Handling Robot basiert auf einer platzsparenden Bauweise, welche für hohe Tragfähigkeiten besonders robust ausgelegt ist. In Clusteranlagen können große Gateventile durch deutlich kleinere Bauformen ersetzt werden, was die Kosteneffizienz des gesamten Systems deutlich verbessert.
"Die Wafer-Substrate werden immer größer und somit schwieriger zu handhaben. Dadurch werden Tragfähigkeit, Reichweite und Effizienz des eingesetzten Handlingsystems immer wichtiger", erklärt Uwe Beier, Geschäftsführer und Leiter des Programmbereichs Clustersysteme der Adenso GmbH. "Die Verwendung von kleineren Schleusenventilen bei gleicher Funktionalität bedeutet damit direkt eine deutliche Kosteneinsparung - und das geringere Volumen eine gesteigerte Effizienz", so Beier weiter.
Im Rahmen der SEMICON EUROPA 2015, welche vom 06. - 08. Oktober in Dresden stattfindet, präsentieren Ingenieure der Adenso GmbH ihre Roboter live auf dem Gemeinschaftsstand des Silicon Saxony (Booth 2046) sowie in einem Fachvortrag in der TechArena.
Außerdem wird es eine Live-Vorführung des WHR EXTRA LARGE mit dem autonom agierenden Roboter SCOUT 300triax der Dresdner Firma ORTNER geben. Dieser wurde für den Einsatz in Halbleiterfabriken entwickelt und kann Transportboxen für 300mm Wafer (FOUP) automatisch von einem Tool aufnehmen, transportieren und an der benötigten Stelle korrekt platzieren.
Über Adenso
Adenso entwickelt seit1998 Konzepte für das Handling von verschiedensten Substraten in Hochvakuum- und Schutzgasumgebungen – für heute, morgen und übermorgen. Von Prototyp- über Forschungs- bis hin zu hochproduktiven Industrieanlagen beschäftigen die Entwicklungsingenieure dabei diese wesentliche Fragen: Welche alternativen Möglichkeiten des Substrathandlings im Zusammenspiel mit der Prozesssierung gibt es, wie setzt man diese am sinnvollsten um und wie kann man sie zukünftig für industrielle Anwendungen nutzen?
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www.adenso.de
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